各種工業(yè)廢氣的治理目前都使用椰殼活性炭成型技術(shù)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的干式排氣處理中廣泛使用椰殼活性炭的主要原因，有如下七點：
　　(1)【化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定】
　　(2)【價格便宜】
　　(3)【有活性力】
　　(4)【比表面積大】
　　(5)【供給穩(wěn)定】
　　(6)【安全性好】
　　(7)【比重比較輕】
    干式排氣處理方式有兩種．一種是利用具有這些優(yōu)點的椰殼活性炭本身的吸附機(jī)能及觸媒機(jī)能的方式；另一種是利用通過添加成分提高了吸附機(jī)能及觸媒機(jī)能的機(jī)能性椰殼活性炭的方式。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中一般使用成型椰殼活性炭及破碎狀顆�；钚蕴浚瑤缀醪皇褂梅涑矤罨钚蕴考捌渌�考慮壓力損失等的特殊形狀的椰殼活性炭。這是因為，所使用的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的氣體中，特別是需要處理的氣體，大多數(shù)是無機(jī)系的氣體，無論是進(jìn)行吸附反應(yīng)還是進(jìn)行觸媒反應(yīng)，無機(jī)反應(yīng)產(chǎn)物都附著在椰殼活性炭表面上，總表面積等比壓力損失更加重要的緣故。
　　椰殼活性炭采用椰子殼為原料精制而成，外形為不定形顆粒，具有機(jī)械強度高，孔隙結(jié)構(gòu)發(fā)達(dá)，比表面積大，吸附速度快，吸附容量高，易于再生，經(jīng)久耐用等特點。  主要用于食品、飲料、藥用活性炭、酒類、空氣凈化活性炭和高純飲用水的除臭、去除水中重金屬、除氯及液體脫色。并可廣泛用于化學(xué)工業(yè)的溶劑回收和氣體分離等。使用壽命長，種類齊全，分別為黃金提煉專用活性炭、水處理活性炭、味精精制炭、石化脫硫醇專用炭、維尼綸觸媒載體活性炭、乙烯脫鹽水炭、香煙過濾咀炭等等，廣泛應(yīng)用于食品、醫(yī)療、礦山、冶金、石化、煉鋼、煙草、精細(xì)化工等行業(yè)。

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